Plazma kesme kontrolörü temel olarak aşağıdaki bileşenlerden oluşur:
Yüksek-frekanslı güç kaynağı: Yüksek-frekanslı bir elektrik alanı oluşturmak için kullanılır;
Eşleştirme ağı: Yüksek-frekanslı elektrik alanının plazma odası içindeki dağıtımını ayarlamak için kullanılır;
Plazma odası: Gaz moleküllerini iyonize etmek ve plazma oluşturmak için kullanılır;
Vakum sistemi: Plazma odasının vakum seviyesini ve stabilitesini sağlar;
Kontrol sistemi: Plazma parametrelerini kontrol etmek ve plazmanın elektriksel özelliklerinin stabil kontrolünü sağlamak için kullanılır.
